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在人間飄蕩的遊魂的日記本

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篇名: total pitch
作者: 在人間飄蕩的遊魂	日期: 2013.02.12　　天氣: 　心情:

Pitch是指一段的距離

Total Pitch就是指所有每一段距離加總

專業說明:
Total Pitch 指的就是單方向上光罩設計上
兩點之間距離與實際產出基板量測兩點之間距離的差值
Total Pitch >0 表示圖形變大

Total Pitch <0 表示圖形縮小

假設光罩圖案口

產出彩色濾光片圖案口

比原本光罩多出的那段距離就是Total Pitch量測結果

因為彩色濾光片上的圖案是由光罩曝光而來，理論上基板上的圖形是要和原本光罩上圖形大小要一樣。

但因為曝光時環境溫度，造成光罩與基板熱脹冷縮，加上基板與光罩材質不同，膨脹係數就不同，使得圖形大小有所變異。

另外，因彩色濾光片最終要與TFT貼合，兩邊的圖案大小不能差異太大，因此才要有Total Pitch量測與限制。

一般規格是限制正負3.5微米

(參考資料來源:網路)

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